Conferences; Microelectronics; Micromechanical devices;
机译:基于声膜上硅光子环谐振器的灵敏光学微机械超声传感器(OMUS)
机译:使用嵌入了纳米腔谐振器的硅光子晶体悬臂的光学纳米机械传感器
机译:使用嵌入了纳米腔谐振器的硅光子晶体悬臂的光学纳米机械传感器
机译:光学微机械超声传感器,在弯曲的声膜中具有硅光子谐振器
机译:绝缘体上硅(SOI)上基于环形谐振器的硅光子传感器的建模与表征
机译:基于声膜上硅光子环谐振器的灵敏光学微机械超声传感器(OMUS)
机译:基于声膜上硅光子环谐振器的灵敏光学微机械超声传感器(OMUS)