Liquids; Resonant frequency; Microfluidics; Micromechanical devices; Finite element analysis; Biomembranes; Cavity resonators;
机译:由PZT薄膜驱动的MEMS膜的开发和表征
机译:基于薄膜压电AlN执行器的MEMS板的生物应用开发
机译:MEMS应用微堆叠PZT执行器的制造与表征
机译:基于薄膜PZT驱动器的微流体应用MEMS膜的开发和表征
机译:开发PZT薄膜执行器。
机译:基于微流控技术的面板在存档/膀胱癌的基础/纵向转录表征中的应用
机译:基于薄膜PZT执行器的低压MEMS数字扬声器阵列
机译:大孔径可变形反射镜,带有转移的单晶硅膜,采用大行程pZT单晶片执行器驱动