Curvature; Diffraction angle; Grating; MEMS;
机译:循环温度变化对表面微加工曲面光栅的面外变形和衍射角的影响
机译:利用表面微加工平面曲面光栅的单光束光镊子实现多个光阱
机译:使用Chandezon方法分析表面浮雕交叉光栅的衍射:应用于多层交叉光栅(第15卷,第1121页,1998年)
机译:表面微加工平面弯曲光栅和交叉光栅的衍射角预测
机译:衍射光栅理论在波导光栅分析与制造中的应用。
机译:具有原子光栅应用的带有衍射光栅的细长微机械蒸气室中的激光路由
机译:SOI中的平面植入式衍射光栅耦合器
机译:用于同心圆光栅,表面发射半导体激光器的弯曲光栅制造技术