机译:通过晶圆填充可控制的三维微对象的弹性毛细管折叠
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机译:膜折叠可实现三维纳米结构:折叠有应力铬铰链的纳米图案氮化硅
机译:通过晶圆填充可控弹性氮化硅3D结构的弹性折叠
机译:二硅化钴/硅,氮化钛/硅,硅/氮化钛/硅和铜/氮化钛/硅异质结构的激光加工,性能和理论模型。
机译:Cr对硅的氮化和一维氮化硅纳米结构形成的催化作用
机译:使用通过氮化硅管泵送通过晶片的水的三维微结构的弹性毛细管折叠
机译:氮化硅钝化层变化对电子辐照氮化铝镓/氮化镓HEmT结构的影响