electrical properties; n-type TCO; optical properties; structure;
机译:射频磁控溅射沉积在玻璃和硅片上的导电Ga掺杂ZnO薄膜的理化性质研究
机译:溅射压力对射频磁控溅射动态沉积铝掺杂ZnO薄膜性能的影响
机译:退火处理对射频磁控溅射沉积Ga掺杂ZnO薄膜的结构,电学和光学性质的影响
机译:GA掺杂ZnO薄膜沉积在RF磁控溅射 - 制备和性能
机译:使用不平衡磁控溅射制造适用于薄膜晶体管的掺镓ZNO薄膜。
机译:射频磁控溅射制备(MgAl)共掺杂ZnO薄膜的光电性能研究与研究
机译:非反应性射频磁控溅射沉积Ga掺杂ZnO薄膜的缺陷-导电关系的制备与表征