Surface-micromachining; accelerometer; poly-silicon piezoresistor; pressure sensor; self-testing;
机译:TPMS(轮胎压力监测系统)传感器:表面微机械压阻式压力传感器和可自测加速度计的单片集成
机译:用于热激励电阻式MEMS传感器的低成本内置自检方法
机译:智能相机嵌入了新的低成本功能:供应商正在定制其智能相机,以通过嵌入式传感器,处理器和网络功能满足一系列应用
机译:单片压力+加速度传感器,具有可靠和低成本轮胎压力监测系统(TPMS)应用的自检功能
机译:低成本传感器阵列设备作为可靠评估交通相关空气污染暴露的方法
机译:用于单片三维集成电路应用的低成本和低温多晶硅纳米线传感器阵列的制造
机译:用于电阻式mEms传感器的低成本,内置自测试方法