AlN; Piezoelectricity; energy harvesting;
机译:采用CMOS兼容工艺制造的用于低加速度的高效压电微型收割机
机译:采用CMOS Al BEOL兼容工艺制造的基于MEMS微桥结构的工艺平台
机译:基于MEMS微桥结构的工艺平台,用CMOS AL BEOL兼容过程制作
机译:高效的压电微收割机,具有CMOS兼容过程的低水平加速度
机译:使用压电聚合物的MEMS尺寸CMOS兼容能量收集器,用于可持续电子
机译:关于MEMS压电微功率HARVESTER物理参数优化的数据用于极低频率和低振动级应用
机译:光子晶体慢灯装置由CMOS兼容过程制成