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Electrical and optical properties of ion implanted SOI-based photonic crystals

机译:离子注入的基于SOI的光子晶体的电学和光学性质

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摘要

We investigate the electrical properties of Silicon-on-Insulator photonic crystals as a function of doping level and air filling factor. A very interesting trade-off between conductivity and optical losses in L3 cavities is also found.
机译:我们研究了绝缘体上硅光子晶体的电学性质与掺杂水平和空气填充因子的关系。还发现在L3腔中的电导率和光学损耗之间有一个非常有趣的权衡。

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