Widely tunable high-speed bulk-micromachined short-wavelength MEMS-VCSEL

机译：广泛可调的高速整体微加工短波长MEMS-VCSEL

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We present the first results of a high-speed bulk-micromachined tunable vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL) operating near 850nm using a half-symmetric resonator with a movable curved microelectromechanical system (MEMS) membrane.

机译：我们介绍了使用带有可移动弯曲微机电系统（MEMS）膜的半对称谐振器在850nm附近工作的高速整体微机械可调谐垂直腔表面发射激光器（VCSEL）的初步结果。

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来源
《22nd IEEE International Semiconductor Laser Conference》|2010年|P.9-10|共2页
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中图分类半导体激光器件;
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