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首页> 外文期刊>Applied physics >Spectral and modulation properties of a largely tunable MEMS-VCSEL in view of gas phase spectroscopy applications
【24h】

Spectral and modulation properties of a largely tunable MEMS-VCSEL in view of gas phase spectroscopy applications

机译：鉴于气相光谱应用，可很大程度上调谐的MEMS-VCSEL的光谱和调制特性

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摘要

An extensive characterization of the spectral properties of a largely tunable laser in the 1.56-μm spectral range is reported. This device combines a vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL) with a micro-machined (MEMS) Bragg mirror in a very compact arrangement. The large tunability obtained by an electro-thermal actuation of the MEMS mirror makes this device very attractive for high-resolution spectroscopy. Relevant laser parameters for the implementation of wavelength modulation spectroscopy techniques in gas sensing, such as tuning and modulation properties, are presented. A preliminary gas spectroscopy experiment performed with this laser is also shown.
机译：据报道，在1.56μm的光谱范围内，可调谐激光器的光谱特性得到了广泛的表征。该设备以非常紧凑的结构将垂直腔表面发射激光器（VCSEL）与微机械（MEMS）布拉格镜结合在一起。通过MEMS反射镜的电热驱动获得的大可调性使该设备非常适合高分辨率光谱学。介绍了在气体传感中用于实施波长调制光谱技术的相关激光参数，例如调谐和调制特性。还显示了用此激光器进行的初步气相色谱实验。

著录项

  • 来源
    《Applied physics》 |2010年第2期|P.321-329|共9页
  • 作者

    S. Schilt; rnK. Zogal; rnB. Koegel; rnP. Meissner; rnM. Maute; R. Protasio; rnM.-C. Amann;

  • 作者单位

    IR Microsystems SA, PSE-C, 1015 Lausanne, Switzerland Laboratory for Time and Frequency, Institute of Physics, University of Neuchatel, 2009 Neuchatel, Switzerland;

    rnFachgebiet Optische Nachrichtentechnik, Technische Universitaet Darmstadt, Merckstrasse 25, 64283 Darmstadt, Germany;

    rnFachgebiet Optische Nachrichtentechnik, Technische Universitaet Darmstadt, Merckstrasse 25, 64283 Darmstadt, Germany Department of Microtechnology and Nanoscience, Chalmers University of Technology, 412 96 Goteborg, Sweden;

    rnFachgebiet Optische Nachrichtentechnik, Technische Universitaet Darmstadt, Merckstrasse 25, 64283 Darmstadt, Germany;

    rnWalter Schottky Institut, Technische Universitaet Muenchen, Am Coulombwall, 85748 Garching, Germany;

    rnIR Microsystems SA, PSE-C, 1015 Lausanne, Switzerland;

    rnWalter Schottky Institut, Technische Universitaet Muenchen, Am Coulombwall, 85748 Garching, Germany;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-18 03:11:50

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