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Spark Assisted Chemical Engraving (SACE) machining - a versatile alternative micro-machining technology

机译:Spark辅助化学雕刻(SACE)加工 - 一种多功能的替代微加工技术

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摘要

Spark Assisted Chemical Engraving is an non-traditional micro-machining technology for glass avoiding the utilisation of clean room environments and mask processing steps. In the present contribution a short overview of the latest developments in the field is given.
机译:Spark Accripted Chemical Stangraving是一种用于玻璃的非传统微加工技术,避免使用洁净室环境和掩模处理步骤。在本贡献中,给出了该领域最新发展的简短概述。

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