DC field; AC field; field aided lateral crystallization; polycrystalline silicon thin-film transistors; low temperature crystallization;
机译:450℃以下非晶硅薄膜的铜场辅助横向结晶(FALC)
机译:450℃以下非晶硅薄膜的铜场辅助横向结晶(FALC)
机译:在450℃以下的无定形硅膜的Cu-野辅助横向结晶(FALC)
机译:交流电压对现场辅助横向结晶过程中非晶硅薄膜结晶的影响
机译:使用嵌入的硅纳米晶体增强非晶硅薄膜的结晶
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:交流电压对场辅助横向结晶过程中非晶硅薄膜晶化的影响