micromechanical devices; ultrasonic transducers; capacitive sensors; robust capacitive MEMS ultrasonics transducers; microelectromechanical system; liquid immersion; MUMPS proces; multiuser MEMS process; protective silicone layer; mechanical damage; pulse distortion prevention;
机译:MEMS电容微机械超声换能器的鲁棒控制方法
机译:基于微电机系统的电容式超声换能器作为高效浸没传感器
机译:基于玻璃-SOI的具有密闭腔的混合键合电容式微加工超声换能器,可用于浸泡应用
机译:强大的电容MEMS Ultrasonics传感器用于液体浸没
机译:微机械电容超声浸没换能器阵列。
机译:气体阻尼在电容性MEMS换能器中的自由分子流动状态
机译:用于电容微机械超声换能器圆柱形阵列的3D锥形梁乳房超声波断层扫描成像
机译:碳化硅电容式高温mEms应变传感器。