silicon; elemental semiconductors; micromachining; microstrip lines; micromechanical resonators; magnetostatic wave devices; etching; magnetic microwave devices; matched microstrip lines; micromachined Si substrates; magnetostatic wave resonators; SER pe;
机译:微加工硅基板上的宽带微带贴片天线
机译:在VLSI标准Si基片上的高性能块状和薄膜微带传输线
机译:有损硅晶圆上微带线和CPW传输线的基板损耗机制
机译:在微机械硅基底上的微带线建模
机译:每小时度模式匹配的微机械硅振动陀螺仪。
机译:在体微机械加速度计中模拟掺硼硅的微结构曲率
机译:用于在标准硅衬底中制造两级mEms的批量微加工技术