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Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR
Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR
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1.
Single mode microwave sealing of polymer-based microfluidic devices using conductive polymer
机译:
使用导电聚合物的基于聚合物的微流体装置的单模微波密封
作者:
Abdirahman A.Yussuf
;
Igor Sbarski
;
Jason P. Hayes
;
N.Tran
;
Matthew Solomon
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
microfluidic;
sealing;
microwave;
microfabrication and polyaniline;
2.
Static and dynamic characterization of MEMS and MOEMS devices using optical interference microscopy
机译:
使用光学干涉显微镜对MEMS和MOEMS器件进行静态和动态表征
作者:
D. Grigg
;
E. Felkel
;
J. Roth
;
X. Colonna de Lega
;
L. Deck
;
P. de Groot
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
interferometry;
microscopy;
white light;
thin films;
MEMS;
MOEMS;
stroboscopy;
metrology;
3.
Integrated Asymmetric Vertical Coupler Pressure Sensors
机译:
集成式非对称垂直耦合器压力传感器
作者:
Isa Kiyat
;
Askin Kocabas
;
Imran Akcag
;
Atilla Aydinli
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
integrated optics;
wavelength-selective coupler;
pressure sensor;
stress-optic effect;
4.
MEMS-based redundancy ring for low noise millimeter-wave front-end
机译:
用于低噪声毫米波前端的基于MEMS的冗余环
作者:
P.Pons
;
D.Dubuc
;
F.Flourens
;
M.Saddaoui
;
S.Melle
;
A.Tackacs
;
J.Tao
;
H.Aubert
;
A.Boukabache
;
T.Paillot
;
P.Blondy
;
O.Vendier
;
K. Grenier
;
R.Plana
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
5.
MEMS tunable filter for telecom applications
机译:
适用于电信应用的MEMS可调滤波器
作者:
T. Overstolz
;
G. Niederer
;
W. Noell
;
M. T. Gale
;
H. P. Herzig
;
S. Obi
;
H. Thiele
;
N. F. de Rooij
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
resonant grating filter;
C-band;
telecom;
vertical comb drive;
SOI;
MEMS;
DRIE;
vapor phase etching;
6.
Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) for enzymatic detection
机译:
微机电系统(MEMS)用于酶促检测
作者:
Amritsar Jeetender
;
Muthukumaran Packirisamy
;
Ion Stiharu
;
Ganesharam Balagopal
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
micro electro mechanical systems (MEMS);
acute myocardial infarction (AMI);
optical detection;
horse radish peroxide (HRP) and biochemical markers;
7.
Experimental investigation on the dynamics of MEMS structures
机译:
MEMS结构动力学的实验研究
作者:
Gino Rinaldi
;
Muthukumaran Packirisamy
;
Ion Stiharu
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
MEMS;
dynamic characterization;
laser doppler velocimeter;
vibrations;
8.
Fabrication of micro-optical switch by post-CMOS micromachining process
机译:
通过后CMOS微加工工艺制造微光开关
作者:
Ying-Chou Cheng
;
Chi-Yuan Lee
;
Ching-Liang Dai
;
Wen-Jong Chen
;
Pei-Zen Chang
;
Ping-Hei Chen
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
MEMS;
CMOS-MEMS;
foundry service;
9.
Infrastructure for the design and fabrication of MEMS for RF/microwave and millimeter wave applications
机译:
用于RF /微波和毫米波应用的MEMS设计和制造的基础设施
作者:
Vahe Nerguizian
;
Mustapha Rafaf
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
MEMS infrastructure;
MEMS design;
MEMS fabrication;
MEMS RF and microwave;
micro electro mechanical systems;
10.
Infra-red MEMS-based Lamellar Grating Spectrometer
机译:
基于红外MEMS的层状光栅光谱仪
作者:
Omar Manzardo
;
Felix Schadelin
;
Wilfried Noell
;
Nico de Rooij
;
Hans Peter Herzig
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
optical MEMS;
miniaturized fourier spectrometers;
11.
Optical systems based on electrowetting
机译:
基于电润湿的光学系统
作者:
Frank Gindele
;
Frank Gaul
;
Thomas Kolling
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
electrowetting;
EWOD;
optical switch;
polyimide;
contact angle;
transparent dielectric layer;
MOEMS;
12.
Fabrication end-test of the micro scanning mirror
机译:
微型扫描镜的制造最终测试
作者:
Alexander Wolter
;
Eric Gaumont
;
Hilmar Korth
;
Harald Schenk
;
Hubert Lakner
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
micro scanning mirror;
beam deflection;
bulk-micromachining;
MEMS;
optical MEMS;
MOEMS;
micromirror;
comb drive;
wafer-level test;
13.
Design for reliability of drift-free MEMS micromirrors
机译:
无漂移MEMS微镜可靠性设计
作者:
Herbert R. Shea
;
Arman Gasparyan
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
MEMS reliability;
dielectric charging;
charge dissipation;
14.
An in-situ test structure for simultaneously determining multi-material properties of a Film
机译:
用于同时确定薄膜的多种材料特性的原位测试结构
作者:
Chi Hsiang Pan
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
test structure;
material property;
film;
simultaneously;
15.
Carbon-MEMS architectures for 3D microbatteries
机译:
用于3D微电池的Carbon-MEMS体系结构
作者:
Chunlei Wang
;
Lili Taherabadi
;
Guangyao Jia
;
Sam Kassegne
;
Jim Zoval
;
Marc Madou
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
microbattery;
li intercalation;
C-MEMS;
photoresist;
pyrolysis;
simulation;
16.
CD (compact disc) - based DNA Hybridization and Detection
机译:
基于CD(光盘)的DNA杂交和检测
作者:
Guangyao Jia
;
Kuo-Sheng Ma
;
Jitae Kim
;
Jim V. Zoval
;
Marc J. Madou
;
Sapna K. Deo
;
Sylvia Daunert
;
Regis Peytavi
;
Michel G. Bergeron
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
flow-through DNA hybridization;
microfluidics;
CD platform;
centrifugal;
SU-8 photolithography;
flow cells;
self-assembled monolayers (SAMs);
ELF 97;
bioluminescence;
17.
CMOS Compatible RF MEMS switch
机译:
CMOS兼容RF MEMS开关
作者:
Narendra V. Lakamraju
;
Bruce Kim
;
Stephen M. Phillips
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
RF;
MEMS switch;
electrostatic;
CMOS;
high power;
18.
Design and Fabrication of a Circular Digital Variable Optical Attenuator
机译:
圆形数字可变光衰减器的设计与制作
作者:
Winston Sun
;
Junaid Mughal
;
Frank Perez
;
Nabeel Riza
;
Wilfried Noell
;
Nico de Rooij
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
SOI;
VOA;
HF vapor-phase-etcher;
DRIE;
delay-mask process;
19.
Damping Analysis and Measurement for a Comb-Drive Scanning Mirror
机译:
梳状扫描镜的阻尼分析与测量
作者:
Thilo Sandner
;
Thomas Klose
;
Alexander Wolter
;
Harald Schenk
;
Hubert Lakner
;
Wyatt Davis
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
damping;
micro scanning mirror;
optical MEMS;
MOEMS;
out-of-plane comb drive;
20.
Designing Manufacturable MEMS in CMOS Compatible Processes - Methodology and Case Studies
机译:
在CMOS兼容工艺中设计可制造MEMS-方法和案例研究
作者:
Gerold Schroepfer
;
Mark McNie
;
Mark da Silva
;
Rhodri Davies
;
Alexandra Rickard
;
Francois-Xavier Musalem
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
MEMS;
micromachining;
design for manufacturing;
CAD;
CMOS-compatible;
process design kits;
EDA;
21.
Deep Lithography with Protons as an alternative fabrication technology for high-precision 2D fiber connector components
机译:
采用Protons的深度光刻技术作为高精度2D光纤连接器组件的替代制造技术
作者:
Bart Volckaerts
;
Rafal Krajewski
;
Pedro Vynck
;
Heidi Ottevaere
;
Jan Watte
;
Daniel Daems
;
Alex Hermanne
;
Hugo Thienpont
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
micro-optics;
deep lithography;
multiple fiber connector;
mechanical tolerances;
plastics;
22.
4X4 8X8 Optical Cross Connect for Optical Fiber Networks
机译:
光纤网络的4X4和8X8光学交叉连接
作者:
Michael Zickar
;
Wilfried Noell
;
Cornel Marxer
;
Nico de Rooij
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
23.
A SU-8 liquid cell for surface acoustic wave biosensors
机译:
用于表面声波生物传感器的SU-8液池
作者:
L. A. Francis
;
J.-M. Friedt
;
C. Bartic
;
A. Campitelli
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
surface acoustic wave;
biosensor;
liquid cell;
SU-8;
packaging;
protein;
fibrinogen;
24.
A new micromachined optical fiber switch for instrumentation purposes
机译:
一种用于仪器仪表的新型微加工光纤开关
作者:
M. Herding
;
G. Somogyi
;
U. Mescheder
;
P. Woias
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
25.
A Tilting Micromirror with Well-Controlled Digital Angle Through Constrained Lever Structure
机译:
通过约束杆结构的数字角度可控的倾斜微镜
作者:
J. C. Chiou
;
C. F. Kuo
;
Y. C. Lin
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
micro-mirror;
lever;
PolyMUMPs;
26.
A surface micromachined tunable film bulk acoustic resonator
机译:
表面微机械可调膜体声波谐振器
作者:
Wanling Pan
;
Philippe Soussan
;
Bart Nauwelaers
;
Harrie A.C. Tilmans
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
FBAR;
RF-MEMS;
frequency tuning;
integration;
27.
A VHDL-AMS package for micro-systems polychromatic optical modeling
机译:
用于微系统多色光学建模的VHDL-AMS软件包
作者:
Laurent Quiquerez
;
Siomar Ouaaziz
;
Patrick Pittet
;
Guo-Neng Lu
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
|
2004年
关键词:
behavioural optic modeling;
VHDL-AMS;
spectrum discretization;
microsystems;
optoelectronic;
28.
Piezoelectric actuation for application in RF-MEMS switches
机译:
压电致动,用于RF-MEMS开关
作者:
Gerard Klaasse
;
Bob Puers
;
Harrie A.C. Tilmans
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
RF-MEMS;
switch;
piezoelectric;
actuator;
AlN;
29.
Polymer-based pixel matrix display in MOEMS technology
机译:
MOEMS技术中基于聚合物的像素矩阵显示器
作者:
Ryszard Buczynski
;
Stefan Kufner
;
Rafal Kasztelanic
;
Arkadiusz Sagan
;
Ines Frese
;
Thomas Klotzbuecher
;
Tomasz Szoplik
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
displays;
microstructure fabrication;
microstructure devices;
30.
Real time monitoring of thickness of silicon membrane during wet etching using a novel surface acoustic wave sensor
机译:
使用新型表面声波传感器实时监测湿法蚀刻过程中硅膜的厚度
作者:
Chi-Yuan Lee
;
Tsung-Tsong Wu
;
Yung-Yu Chen
;
Ying-Chou Cheng
;
Wen-Jong Chen
;
Shin-Yung Pao
;
Pei-Zen Chang
;
Ping-Hei Chen
;
Kai-Hsiang Yen
;
Fu-Yuan Xiao
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
MEMS;
real-time monitoring;
SAW sensor;
IDT;
31.
Reagentless cell lysis on a PDMS CD using beads
机译:
使用珠子在PDMS CD上进行无试剂的细胞裂解
作者:
Jitae Kim
;
She-Hee Jang
;
Jim V. Zoval
;
Nancy A. Da Silva
;
Marc J. Madou
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
microfluidics;
CD (compact disc);
cell lysis;
beads;
32.
Optical MEMS components fabrication using micromachning of (111)-oriented silicon wafers
机译:
使用(111)取向硅片的微加工制造光学MEMS组件
作者:
Dana Cristea
;
Elena Manea
;
Mihai Kusko
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
optical MEMS;
silicon micromachining;
wet etching;
optical waveguides;
micromirrors;
33.
MEMS application to characterization of field emitters and bio molecules
机译:
MEMS在表征场发射器和生物分子中的应用
作者:
Kuniyuki Kakushima
;
Hiroyuki Fujita
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
micro electro mechanical system (MEMS);
LOCOS;
field emission;
DNA;
TEM;
34.
Microengraving of a potassium dihydrogen phosphate crystal by laser ablation technique
机译:
激光烧蚀技术微刻制磷酸二氢钾钾晶体
作者:
G. Moagar-Poladian
;
D. Ulieru
;
C.Sandu
;
M. Bulinski
;
A. Dinescu
;
M. Danila
;
R. Gavrila
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
KDP crystal;
laser micro-engraving;
integrated optics;
electro-optic modulators;
35.
Micromachined tunable optical microfilters design and experimental processing
机译:
微机械可调光学微滤器的设计和实验处理
作者:
Dana Cristea
;
Raluca Muller
;
P. Arguel
;
M. Kusko
;
C. Tibeica
;
D.Syvridis
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
fabry-perot interferometers;
silicon micromachining;
movable micromirrors;
36.
MODELLING OF MICROSTRIP LINES ON MICROMACHINED SILICON SUBSTRATES
机译:
在微机械硅基底上的微带线建模
作者:
Alina Cismaru
;
Romolo Marcelli
;
George Sajin
;
Florea Craciunoiu
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
micromachining;
RF-MEMS;
microstrip lines;
magnetostatic waves;
resonators;
37.
Mathematical modeling and design of a novel 2-DOF micro attraction actuator for a micro optical switch
机译:
用于微光开关的新型2自由度微吸引致动器的数学建模和设计
作者:
Daiki Kamiya
;
Saeed Bagheri
;
Mikio Horie
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
optical switch;
multiple input and output;
electrostatic micromanipulaor;
large angular displacement;
nonlinear spring;
attraction actuator;
corkscrew pattern;
mathematical modeling;
design;
finite element method;
38.
MOEMS Industrial Infrastructure
机译:
MOEMS工业基础设施
作者:
Henne van Heeren
;
Lia Paschalidou
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
infrastructure;
foundry;
design house;
packaging;
MST;
MEMS;
MOEMS;
assembly;
nanotechnology;
supply chain;
39.
FEM calculations on laser bending of silicon with a moving laser source
机译:
移动激光源对硅进行激光弯曲的有限元计算
作者:
U. Loeschner
;
H. Exner
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
40.
Development of a NIR micro spectrometer based on a MOEMS scanning grating
机译:
基于MOEMS扫描光栅的近红外光谱仪的研制
作者:
F. Zimmer
;
H. Grueger
;
A. Heberer
;
A. Wolter
;
H. Schenk
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
reflection grating;
spectrometer;
spectroscopy;
scanning grating;
micro scanning mirror;
MEMS;
MOEMS;
41.
Bragg reflector based on periodic structures for silicon MOEMS applications
机译:
基于周期性结构的布拉格反射器,用于硅MOEMS应用
作者:
M. Purica
;
E. Budianu
;
M. Kusko
;
D. Dragoman
;
G. Dinescu
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
bragg reflector;
periodic structure;
Au/SiO_2 analytical model;
42.
Artificial Muscle Valves for Responsive Drug Delivery Systems
机译:
用于响应性药物输送系统的人工肌肉瓣膜
作者:
Chong Wang
;
Han Xu
;
ChunLei Wang
;
Jim Zoval
;
Marc Madou
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
drug delivery;
valve;
polypyrrole;
artificial muscle;
actuators;
43.
Compact triangulation distance sensor realized by wafer bending technique
机译:
通过晶片弯曲技术实现的紧凑型三角测量距离传感器
作者:
Minoru Sasaki
;
Satoshi Endou
;
Kazuhiro Hane
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
triangulation distance sensor;
wafer bending technique;
prealignment;
three-dimensional structure;
44.
Characterization of Waferstepper and Process related Front- to Backwafer overlay Errors in Bulk Micro Machining using Electrical Overlay Test Structures
机译:
使用电覆盖测试结构进行批量微加工中Waferstepper的表征和与工艺相关的从前到后晶片的覆盖误差
作者:
H. W. van Zeijl
;
F. G. C. Bijnen
;
J. Slabbekoorn
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
bulk micro machining KOH etching;
front to backwafer alignment;
electrical overlay measurements;
45.
A MEMS-BASED ALL-DIELECTRIC TUNABLE OPTICAL FILTER WITH INCREASED TUNING RANGE
机译:
调谐范围增加的基于MEMS的全介电可调光学滤波器
作者:
Dennis Hohlfeld
;
Hans Zappe
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
micro-optics;
tunable optical filter;
fabry-perot;
distributed bragg reflector;
thermo-optic effect;
46.
Analysis of Parametric Resonances in Comb-Driven Microscanners
机译:
梳状微扫描仪的参量共振分析
作者:
Caglar Ataman
;
Ozgur Kaya
;
Hakan Urey
会议名称:
《Conference on MEMS, MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), and Micromechining; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》
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2004年
关键词:
comb-drive actuation;
microscanner;
subharmonic oscillation;
parametric resonance;
damping;
quality factor;
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