micromachining; polymers; gas sensors; microsensors; electromagnetic actuators; piezoresistive devices; MOSFET; CMOS integrated circuits; differential amplifiers; feedback amplifiers; electromagnetically actuated CMOS resonant cantilever gas sensor; vola;
机译:磁驱动互补金属氧化物半导体谐振悬臂气体传感器系统
机译:在共振微悬臂梁上预修饰的CNTs的自组装和传感基团接枝,用于特异性检测挥发性有机化合物蒸气
机译:使用悬臂基气体传感器检测溶液中挥发性有机化合物(VOC)
机译:用于挥发性有机化合物的磁性驱动的CMOS共振悬臂气体传感器
机译:使用DNA官能化碳纳米管传感器阵列的挥发性有机化合物检测和疾病诊断
机译:基于电容微机械超声换能器的共振传感器阵列用于无线系统中的便携式挥发性有机化合物检测
机译:CmOs mEms谐振磁场传感器,具有差分静电驱动和电容传感
机译:悬臂增强光声光谱法分析挥发性有机化合物。