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微悬臂梁谐振式气体传感器研究进展

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摘要

微机械谐振式传感器已经成为微型机电系统(MEMS)领域的研究热点.讨论了微悬臂梁谐振式气体传感器的工作原理,介绍微悬臂梁表面修饰的关键技术、主要方法和基于微悬臂梁的谐振式气体传感器领域的研究状况以及近五年以来该领域的研究进展,并对基于微悬臂梁的谐振式气体传感器的发展方向和应用前景做了展望.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2008年第11期|1-4|共4页
作者
高伟; 董瑛; 尤政;
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作者单位

清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;

清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;

清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.2;
关键词
微悬臂梁; 谐振器; 气体传感器; 表面修饰;

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