surface acoustic wave filters; nucleation; substrates; surface roughness; aluminium compounds; diamond; SAW filter characteristics; diamond nucleation process; diamond deposition; silicon substrate; ultrasonic vibration table; sub-micron diamond slurry; bias enhanced nucleated; freestanding diamond layers; surface roughness; electromechanical coupling; propagation losses; AlN;
机译:金刚石成核工艺对AlN /金刚石表面声波滤波器传播损耗的影响
机译:氮化铝/独立式金刚石表面声波滤波器的研究
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机译:成核过程对独立式ALN /金刚石锯滤波器特性的影响
机译:CVD金刚石成核的控制及其对微零件加工的影响。
机译:使用新型成核法(NNP)改善铂电线上的硼掺杂金刚石涂层的改进
机译:用于硅装置加工的集成ALN /金刚石散热器
机译:金刚石异质外核成核的离子注入工艺