机译:AFM研究全氟烷基硅烷和烷基硅烷自组装单层在MEMS / NEMS中的抗粘连性
机译:通过表面改性对Tribo-Si和SU8材料进行功能化,以用于基于MEMS / NEMS执行器的设备
机译:自组装单分子膜(SAMS)和非特异性蛋白质吸附研究对表面溶胶凝胶衍生的二氧化钛薄膜进行表面改性
机译:“SAMS符合MEMS”:用自组装单层的表面改性,用于光塑性MEMS / NEM的干脱模
机译:通过金属有机气相外延技术开发用于压电MEMS / NEMS应用的表面微机械氮化铝空气桥。
机译:低力下MEMS和NEMS DC开关中接触电阻的不稳定性:外来膜在接触表面上的作用
机译:“ SAMs满足MEMS”:使用自组装单层进行表面改性,用于光塑MEMS / NEMS的干法脱模