用于光纤通信的MEMS光开关

摘要

该文的主要研究工作如下:1、探讨静电和电磁驱动方式,最后提出课题的意文、主要内容和研究方法.2、光开关结构设计.3、用ANSYS软件对光开关系统进行磁-力耦合场分析,得出系统的整体优化曲线和耦合图;接着用能量法估算出悬臂梁的基振频率;最后分析光开关的性能.4、介绍硅单晶的晶向以及各向异性腐蚀工艺中的清洗、氧化、光刻等基本知识;然后分析了TMAH各向异性腐蚀原理如TMAH对晶体晶向的选择性,腐蚀速率与溶液温度和浓度的关系,溶液浓度对被腐蚀晶体表面粗糙度的影响;最后提出光开关工艺的设计方案,画出工艺流程图,模版,开始送实验室制作.5、总结.