amorphous semiconductors; annealing; antireflection coatings; carrier lifetime; elemental semiconductors; hydrogen; passivation; semiconductor thin films; semiconductor-insulator boundaries; silicon; silicon compounds; (SiNsubx/sub:H)-Si:H; Si; annealing; carrier l;
机译:氢对c-Si晶片上化学催化气相沉积SiNx / Si富SiNx叠层钝化质量的影响
机译:用于增强缺陷钝化的A-Si:H / C-Si接口不同氢等离子体处理方法的关键研究
机译:a-Si:H / c-Si异质结太阳能电池中c-Si表面钝化本征层的低缺陷界面研究$
机译:在SINX的热处理期间氢释放和缺陷形成:H / A-Si:H双钝化层对C-Si衬底
机译:通过钝化层和原子层沉积控制高迁移率基材的界面化学。
机译:在退火的氢化非晶硅层中形成气泡
机译:催化化学气相沉积在C-Si晶圆上沉积的SINX / Si的SINX堆叠层钝化质量的影响