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SiNx / a-Si interface formation method

机译:SiNx / a-Si界面形成方法

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著录项

  • 公开/公告号KR920008839A

    专利类型

  • 公开/公告日1992-05-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 김정배;

    申请/专利号KR19900016602

  • 发明设计人 윤기천;

    申请日1990-10-16

  • 分类号H01L21/205;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-22 05:28:17

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