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机译:SiNx / a-Si界面形成方法
公开/公告号KR920008839A
专利类型
公开/公告日1992-05-28
原文格式PDF
申请/专利权人 김정배;
申请/专利号KR19900016602
发明设计人 윤기천;
申请日1990-10-16
分类号H01L21/205;
国家 KR
入库时间 2022-08-22 05:28:17
机译: 具有A-SI(GE)和A-SI的光接收层并且具有多个非平行界面的构件
机译: SINX /非晶硅的界面形成方法
机译: a-Si波导和III / V波导的接口