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Dynamic SIMS study on failure analysis of multiple E-test failure in wafer fabrication

机译:晶圆制造中多次电子测试失败的失败分析的动态SIMS研究

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摘要

A case of multiple failures at the end of line (EOL) electrical test (E-test) was encountered in wafer fabrication. In this paper, we will present a significant study of multiple E-test failure case, using CAMECA IMS Wf instrument. The results show that the failure is relate to the quality of incoming starting materials.
机译:在晶圆制造过程中遇到了在线路末端(EOL)电气测试(E-test)发生多次故障的情况。在本文中,我们将使用CAMECA IMS Wf仪器对多次电子测试失败案例进行重要研究。结果表明,失效与进料的质量有关。

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