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任建华; 钱省三; 许圣良;
上海理工大学工业工程研究所/微电子发展研究中心;
产能规划; 半导体; 晶圆制造; 电子表格模型;
机译:在不确定的晶圆批次下传输半导体自动材料处理系统的稳健生产能力规划
机译:容量波动对半导体晶圆制造产能的影响
机译:半导体晶圆制造厂的有限产能生产计划算法
机译:半导体晶圆制造的巨大产能成本
机译:一种基于事件优化模型和离散事件仿真的半导体晶圆制造目标调度方法。
机译:半导体晶圆键合技术在硅/石墨烯/硅双异质结构的制备中的应用
机译:半导体晶圆制造的多功能设备产能计划方法研究
机译:用于半导体晶圆分析的全晶圆宏观检测软件方法的开发
机译:通过将包含传感器的晶圆暴露于制造环境中,在用于半导体集成电路制造的过程晶圆制造环境中检测环境或过程参数
机译:用于半导体制造的晶圆烘烤方法,包括在晶圆中安装多个垫片,以便将热板与晶圆边缘分开
机译:半导体器件制造过程中晶圆特征数据的自相关和复合晶圆度量的生成
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