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Feasibility of a flip chip approach to integrate an IR filter and an IR detector in a future gas detection cell

机译：倒装芯片方法在未来的气体检测单元中集成红外滤光片和红外检测器的可行性

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In this work we have studied the feasibility of integrating an IR filter and IR detector by means of a flip chip technique. This filter and detector combination should be the heart of a future gas detection cell based on infrared absorption. In our case the filter is a surface micromachined Fabry-Perot interferometer, and the IR detector is a bulk micromachined thermopile.

机译：在这项工作中，我们研究了通过倒装芯片技术集成IR滤波器和IR检测器的可行性。这种过滤器和检测器的组合应该成为未来基于红外吸收的气体检测单元的核心。在我们的案例中，滤光片是表面微加工的Fabry-Perot干涉仪，红外检测器是大体积的微加工热电堆。

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来源
《》|2003年|p.407-410|共4页
会议地点
作者
Fonseca; L.; Cabruja; E.; Calaza; C.; Rubio; R.; Santander; J.; Figueras; E.; Gracia; I.; Cane; C.; Moreno; M.; Marco; S.;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类无线电电子学、电信技术;
关键词
flip-chip devices; infrared detectors; micromachining; optical filters; Fabry-Perot interferometers; thermopiles; IR filter integration; IR detector; gas detection cell; flip chip technique; infrared absorption; surface micromachined Fabry-Perot interferometer; micromachined thermopile;

机译：倒装芯片设备;红外探测器;微细加工;光学滤波器;法布里-珀罗干涉仪;热电堆;红外滤波器集成;红外探测器;气体检测池;倒装芯片技术;红外吸收;表面微加工法布里-珀罗干涉仪;微加工热电堆;

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