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气体分析用红外干涉滤光片的改善

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介绍了用于分析气体的红外干涉滤光片的研制过程.探讨了膜系设计、监控方案、制备工艺条件等方面内容.并进行了膜层的机械强度及环模可靠性试验.最后给出了研制结果.

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来源
《五省一市光学学会联合年会暨十三省市光学学会联合年会》|2008年|23-25|共3页
会议地点南昌
作者

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作者单位

中国光学学会;

江西省光学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类红外光学器件 ; 光学镜头、滤光器 ;
关键词
红外干涉滤光片; 膜系设计改进; 膜层可靠性; 气体分析; 制备工艺;

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