机译:晶片清洁对互连结构及其在Al双镶嵌过程中的互连结构的电气性能,用于制造Sub-100nm存储器件
机译:溶解有CO_2的水清洗单个晶片兆频超声系统中的2xnm节点硅器件
机译:制作用于PDMS全内反射型器件的光学上光滑的晶圆硅模具
机译:用于射频微波器件制造的超稀硅晶片清洁化学剂
机译:通过微波等离子体沉积技术的薄膜硅:非晶硅/晶体硅太阳能电池中的生长和器件以及界面效应。
机译:用于高性能折射率传感的可复制硅游标器件的设计程序和制造
机译:表面精加工技术和半导体制造工艺。硅晶片的湿式清洁技术。
机译:用于集成电路制造的硅晶片清洗