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A Silicon Micromachined Floating-element Shear-stress Sensor With Optical Position Sensing By Photodiodes

机译：硅微机械浮动元件剪切应力传感器，通过光电二极管进行光学位置检测

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来源
《》|2001年|P.436-439|共4页
会议地点
作者
Padmanabhan; A.; Goldberg; H.D.;
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正文语种
中图分类无线电电子学、电信技术;
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