机译:集成了PZT薄膜传感器和执行器的金刚石AFM探针的制备和表征
机译:溅射的ZnO薄膜作为金刚石AFM探针的传感器和致动器的特性
机译:带有集成热传感器的静电驱动悬臂探针的实时模型,用于纳米级询问。
机译:用于AFM探针的微制订电连接器,具有集成传感器/执行器
机译:集成传感器和执行器的晶圆通孔互连。
机译:传感器致动器:具有生物启发性梯度间隙的4D打印应变自感和温度自感集成传感器致动器(Adv。Sci。13/2020)
机译:与pZT执行器集成的高速单晶硅aFm探头,适用于高速成像应用