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Progress of 3D Integration Technologies and 3D Interconnects

机译:3D集成技术和3D互连技术的进步

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摘要

Three dimensional stacked circuits having multiple active semiconductor levels rely on the development of strata bonding, micro connects between strata, through strata vias (TSV) and a wafer thinning process. Progress in the each of these process technologies for 3D strata stacking is opening the path to more robust and capable 3D process integrations.
机译:具有多个有源半导体层的三维堆叠电路依赖于层间键合的发展,层间的微连接,层间通孔(TSV)和晶圆减薄工艺。这些用于3D地层堆叠的工艺技术中的每一项技术的进步,正在为实现更强大和更强大的3D工艺集成开辟道路。

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