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Technology and Properties of CrN Films Deposited by Multi-Arc Ion Plating

机译:多弧离子镀CrN薄膜的制备及性能

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摘要

CrN films were deposited using Multi Arc Ion equipment on M35 steel. The experiment results indicate that the flow ratio of N2 to Ar play an important role in the properties of films.
机译:使用Multi Arc Ion设备将CrN膜沉积在M35钢上。实验结果表明,N2与Ar的流量比在薄膜的性能中起着重要的作用。

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