CMOS integrated circuits; semiconductor doping; annealing; nanotechnology; plasma immersion ion implantation; 65nm CMOS device; plasma doping; ultra-shallow junctions; ultra-low energy implantations; junction leakage current; 65 nm;
机译:使用超低能量等离子体掺杂制造的先进65 nm CMOS器件
机译:用于65nm CMOS器件性能增强的高级表面清洁策略
机译:高性能免掺杂碳纳米管基CMOS器件和集成电路
机译:超低成本和高性能65nm CMOS器件,具有等离子掺杂
机译:CMOS技术中的双极性器件表征和设计,用于设计高性能低成本BiCMOS模拟集成电路
机译:钙钛矿型太阳能电池中LiTFSI掺杂Spiro-OMeTAD空穴传输层的等离子体暴露诱导迁移性增强及其对器件性能的影响
机译:高性能免掺杂碳纳米管基CMOS器件和集成电路