disc drives; microactuators; micromachining; piezoelectric thin films; lead compounds; piezoelectric actuators; MEMS-based active sliders; double-layered composite PZT thin films; hard disk drives; HDD; design procedure; PZT thin film microactuators;
机译:硬盘驱动器PZT薄膜微执行器的设计与评估
机译:硬盘驱动器Moonie PZT微致动器滑块驱动装置的设计和研究
机译:用于硬盘驱动器的Moonie PZT微致动器滑动装置的设计与研究
机译:使用硬盘驱动器中双层复合PZT薄膜的基于MEMS的活性滑块的设计和制造
机译:用于硬盘驱动器的PZT驱动的硅悬架的设计和制造。
机译:压电微机械超声换能器上硅基PZT纤维外延薄膜的制备与表征
机译:用压电氧化锌薄膜进行应变传感,用于硬盘驱动中的振动抑制