electron beam focusing; electron beam lithography; electron lenses; digital simulation; electron beam column design; FCM method dilation function; high-aspect-ratio structures; miniaturized electron beam column; microcolumn simulation; FCM method; fa;
机译:具有微型电子束列阵列的多束亚80纳米光刻
机译:具有陶瓷透镜的微型手指大小电子束柱,用于扫描电子显微镜
机译:根据电子屏蔽块的制造方法,进行物理剂量测量和蒙特卡洛模拟的交叉验证,以验证X射线和电子束之间的邻接场的剂量分布特性
机译:FCM方法的小型电子束柱仿真
机译:微型电子显微镜光束柱光学系统。
机译:使用EGSnrc蒙特卡洛模拟评估临床电子束中内部铅屏蔽层的反向散射剂量
机译:微型电子束柱:从实验室到现场
机译:微型扫描电子显微镜聚焦柱的建模 - 电子光学模拟的经验教训。