机译:使用硅化物直接写入电子束光刻工艺制造用于DUV和EUV光刻的掩模
机译:通过氮化硅薄膜和钽基板上的硅化物直写电子束光刻工艺(SiDWEL)来制造硅化物结构
机译:电子束光刻和软光刻技术制造和集成聚合物集成光学器件
机译:使用直接写电子束光刻制备亚微米CMOS-SOS器件
机译:用于电子束光刻应用的纳米电子器件的制造和表征。
机译:像差校正电子束光刻对悬浮石墨烯器件电子传输的影响的原位研究
机译:用于电子束光刻的高对比度3D接近校正:用于制造悬挂掩模的使能技术,用于在UHV环境中完成器件制造