Alphanov, 351 Cours de la Liberation, bdtimentAll, 33405 Talence, France,Universite de Bordeaux 1, Celia umr 5107, 351 Cours de la Liberation, 33405 Talence, France;
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Amplitude Systemes, 11 avenue de Canteranne, Cite de la Photonique, 33600 Pessac, France;
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femtosecond; picosecond; etch rate; removal rate; aluminum; copper;
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