3-D defect characterization using Plan View and Cross-sectional TEM/STEM analysis

机译：使用平面图和横截面TEM / STEM分析进行3-D缺陷表征

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The maturation of insitu FIB liftout for TEM over recent years makes it now practical to use the TEM or STEM as a tool for locating defects prior to cross sectional analysis. This allows defects to be located and characterized in 3 dimensions using TEM/STEM analysis.

机译：近年来，用于TEM的原位FIB剥离技术的成熟使现在实用的方法是使用TEM或STEM作为在进行截面分析之前定位缺陷的工具。这样可以使用TEM / STEM分析在3个维度上定位和表征缺陷。

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来源
《International Symposium for Testing and Failure Analysis(ISTFA 2004); 20051106-10; San Jose,CA(US)》|2005年|P.344-349|共6页
会议地点 San JoseCA(US)
作者
Terrence J. Stark; Phillip E. Russell; Corey Movers;
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作者单位

Materials Analytical Services, Raleigh, NC 27606;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类 TN304.07;
关键词

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