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CARBON-DOPED HBTs FOR OEICs

机译:OEIC的碳掺杂HBT

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摘要

Carbon base doping for high performance HBTs promises higher reliability, but the growth techniques must be optimized so that the hydrogen passivation of C acceptors inherent in suitable epitaxial growth techniques does not degrade device performance. Recent results are discussed in this paper.
机译:高性能HBT的碳基掺杂有望带来更高的可靠性,但必须优化生长技术,以便合适的外延生长技术中固有的C受体氢钝化不会降低器件性能。本文讨论了最近的结果。

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