Imaging comparison of reflection and transmission grating systems

机译：反射和透射光栅系统的成像比较

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摘要

Two gratings consist of an imaging system in which a clear virtual image of an object is formed. The diffraction properties of gratings have important influence on the information of images. In this paper, the imaging characteristics of bi-reflection, bi-transmission gratings system and the transmission-reflection grating system are studied. The imaging process and the quality of images of three systems are compared and some characters are summarized. It is useful for the deep understanding of bi-grating imaging effect and its new applications.

机译：两个光栅由成像系统组成，在成像系统中形成物体的清晰虚拟图像。光栅的衍射特性对图像信息有重要影响。本文研究了双反射，双透射光栅系统和透射反射光栅系统的成像特性。比较了三种系统的成像过程和图像质量，总结了一些特点。对于深入了解双光栅成像效果及其新应用非常有用。

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来源
《Instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing III》|2009年|74050V.1-74050V.5|共5页
会议地点 San Diego CA(US)
作者
Lingyu Wan; Weiping Zhang; Qingyi Yang; xiaoming Shen;
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作者单位

College of Physics Science and Technology, Guangxi University, Nanning, 530004, China;

College of Physics Science and Technology, Guangxi University, Nanning, 530004, China;

College of Physics Science and Technology, Guangxi University, Nanning, 530004, China;

College of Physics Science and Technology, Guangxi University, Nanning, 530004, China;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类半导体技术;
关键词
bi-grating imaging effect; transmission grating; reflection grating; image information;

机译：双光栅成像效果；透射光栅反射光栅图片信息;

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