28nmスプリットゲートMONOS型フラッシュメモリを用いた高温動作かつ低エラー率を実現するPUF技術

摘要

28nmスプリットゲートMONOS (SG-MONOS)型フラッシュメモリを用いた、ハードウェアセキュリティ向けの高信頼のPhysical Unclonable Functions (PUF)に関して報告する。SG-MONOSの初期Vtばらつきを利用したPUFを試作し、電圧•温度変化、時間経過に対しての安定性を確認した。さらに、新たに実装したオフセット読み出し方式により、ECCを用いずにPUFのエラー率0%を達成した。