接触燃焼式MEMSガスセンサの開発

摘要

本研究では従来の接触燃焼式ガスセンサの感度の向上及 び消費電力の改善を目的としてセンサの開発を行った。第 一に検知部を金属抵抗体ではなく 、半導体抵抗体にするこ とで温度による抵抗変化率を大きくし、感度の向上を図つrnた。〈3'2〉の結果からlOOOOppmでは十分に検知できていrnることが確認できる。またこの結果からlOOppmでも検知 できるセンサであると見積もることができた。今後の研究 でlOOppm以下での測定を行うことで、より低濃度での検 知が可能かの確認が必要である。rn<3-3〉ではPtヒータを検知素子として用いてガス検知 を行うことで、従来の接触燃焼式ガスセンサと同様の動作 でのガス検知を行った。このことからMEMS技術を用い、 小型化することで低濃度での検知が行えるかどうかの確認rnができた。