柔軟基板上に形成された3D マイクロニードルによるin vivo 神経電位計測

摘要

本研究では直径10 μm 以下の3D ニードル電極を10 μmrn厚のパリレン柔軟基板上に搭載した。今回の報告ではパリrnレンフィルムへのSi 薄膜の埋め込み手法と搭載方法およびrnニードル電極作製プロセスを提案した。作製しFPC 上にパrnッケージングした神経電極を用いてin vivo でのマウス大脳rn皮質バレル野から計測を行ったところ、ヒゲ刺激に応答すrnるLFP およびスパイク信号を計測することができた。