低消費電力性・耐腐食性を有するフローセンサデバイスの特性改善

摘要

産業用途のフローセンサデバイスにおいて，実験計画法rnを用いた構造設計の最適化と間欠駆動を導入する事で，超rn低消費電力化とガスセンサに適用可能な流量出力を実現でrnきた。また，用途の異なるポリイミド樹脂を2 層構造とすrnる事で高い耐腐食性も実現できた。更に可燃性ガスへの適rn用を考慮して，Au 薄膜でPt を挟み込むことで触媒効果をrn低減できる構造とした。今後は，触媒作用低減の確認実験rnを検討する事と，ガスセンサと組み合わせた構造への応用rnを検討する予定である。