低消費電力性?耐腐食性を有するフローセンサデバイスの特性改善

摘要

産業用途のフローセンサデバイスにおいて，実験計画法 を用いた構造設計の最適化と間欠駆動を導入する事で，超 低消費電力化とガスセンサに適用可能な流量出力を実現で きた。また，用途の異なるポリイミド樹脂を2 層構造とす る事で高い耐腐食性も実現できた。更に可燃性ガスへの適 用を考慮して，Au 薄膜でPt を挟み込むことで触媒効果を 低減できる構造とした。今後は，触媒作用低減の確認実験 を検討する事と，ガスセンサと組み合わせた構造への応用 を検討する予定である。