電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ

摘要

微量の気体（ガス）を高感度に検出する方法に、QCM（Quartz Crystal Microbalance）法が使われている(1) 。QCMは、水晶基板に金属電極を形成するだけで表面へのガス吸着による共振周波数の変化からガス濃度を高感度に検出することができる方法であり、感応膜を選択すれば、水素や二酸化炭素などの各種ガスセンサが実現できる(2)-(5) 。また、QCM法を生体分子間相互作用を利用したバイオセンシングなどに展開するなどこれまでになかった分野で応用されている(6)(7)。ガスの他に、温度や湿度、その他物理、化学量を同時に検出するマルチモーダルセンシングについて、農業や環境モニタの分野で開発が行われている(8)(9)。