印刷カンチレバーを用いたヘッドマイク式呼吸センサーの開発

摘要

本研究では印刷技術の応用によって中空構造体を効率よrnく形成するループ法の改良により、柔軟なスポンジに対しrnて微小な可動部を用いた機械変位式センサーを直接形成でrnきることを示した。ループ法のプロセス中の粘着部の厚みrnをスポンジ表面のラフネスと同等以上にすることで、プロrnセスの遂行に十分な付着力が形成された。また改良したプrnロセスを用いて作製した静電容量型のセンサーは、基板とrnして利用したスポンジを丸めた状態でヘッドマイク先端にrn固定することができ、さらにその状態で呼気を受けることrnで、明確な静電容量の変化を示した。センサーが示した静電rn容量の変化には使用者の呼吸の深さや長さが的確に反映さrnれており、使用者の状態推定に利用可能であることが示唆rnされた。今後はデバイス構造の最適化によってより安定しrnた計測を可能にするとともに、デバイスの耐久性試験などrnの実践的な評価に取り組む予定である。