静電駆動金ナノグレーティングを用いた光学位相変調器

摘要

自然界には存在しない特異な光物性をもつ構造体であるrnメタマテリアル・メタサーフェスが近年注目されており、rnMEMS とメタサーフェスとを組み合わせた動的光変調素子rnが報告されている(1)。中でもメタサーフェスは小型かつ位相rn変化量が大きいため、アクチュエータにより位相変化を動rn的制御することができれば、将来の広視野角電子ホログラrnフィ用位相変調器として利用できる可能性がある。