高温クリープ立体成形技術による極小MEMS 触覚センサの開発

摘要

本研究では、高温パンチクリープ成形と不純物拡散工程rnとの融合技術を確立することで、ロボットハンド用極小3rn軸触覚センサの開発を目指した。得られた結果は次のとおrnりである。