high K oxide; metal gate; oxygen vacancy; work function;
机译:用Ru电极选通的MOCVD生长的Hf_xSi_(1-x)O_y超薄栅极电介质中的氧化f空位缺陷的证据
机译:重离子辐照后基于HfO_2的高k栅极电介质堆叠中的电荷俘获效应:氧空位的作用
机译:APS -APS 2017年3月会议-事件-使用DLTS探索HfO $ _ {mathrm {2}} $栅极电介质中与氧空位相关的缺陷状态
机译:电荷注入技术研究高k栅介质中的氧空位
机译:氧气空位在氧还原反应中二氧化钛支撑的金属纳米颗粒中的影响及碳电氧化反应
机译:表面氧空位:在环境条件下研究的金属氧化物半导体中光诱导的表面氧空位的动力学(Adv。Sci。22/2019)
机译:氧空位在高介电常数系统Cacu3 Ti4 O12的磁和介电性质中的作用:电子自旋共振研究