Adv. Module Technol. Div., Taiwan Semicond. Manuf. Co. Ltd., Hsin-Chu, Taiwan;
机译:等离子体处理损坏的栅极氧化物的两个随时间变化的介电击穿测量之间的相关性
机译:在BEOL半微米CMOS工艺中防止等离子体诱导的薄栅极氧化物损坏
机译:通过表面光电压测量检测和防止PECVD碳沉积过程中的栅氧化层等离子体损坏
机译:从等离子体氮化过程中直接测量栅极氧化物损伤
机译:用于金属氧化物半导体栅极介电应用的二氧化硅远程等离子体氮化研究。
机译:监管或氧化性破坏?蛋白质组学方法研究半胱氨酸氧化状态在生物过程中的作用
机译:热载流子应力,氧化物击穿和栅极泄漏电流之间的相关性,用于监测等离子体处理对栅极氧化物造成的损坏
机译:通过快速热/微波远程等离子体多处理形成mOs(金属氧化物半导体)栅极